由于室內空間效仿設備其被抽器皿的容量從是多少千破方米到是多少萬破方米,真空度變動從是多少萬Pa 到多少個Pa,并且被抽汽體中帶有很多的水蒸汽或部分氮氧化合物,因此這類真空管理體系碰到困難便是預抽真空難題,倘若采用傳統(tǒng)式的滑閥泵作前面泵則存有以下難題:
是滑閥泵在高進口工作壓力下長歲月運作,由于氣旋帶上功效,其油泵景色十分重特大,一是放縱很多價格昂貴的油,二是染上自然環(huán)境;次之,由于被抽汽體中帶有很多的水蒸汽或氮氧化合物,這種汽體一旦進到泵內會使真空油閥靈巧乳狀液霉變,油的密閉性毀壞,造成 真空功能著陸,乃至使泵毀壞;第三,需要配備泵的總數(shù)多,并且滑閥泵的震動、噪音也大 .
螺桿真空泵由于存有清理隔膜真空泵、抽速大、震動小、噪音劣等優(yōu)勢,已變成當今大中型室內空間效仿真空管理體系的選擇商品。此外,為了更好地發(fā)展真空發(fā)電機組的抽速跟真空并相對應的減少磁力泵的規(guī)格,某些全是采用一臺羅茨真空泵與螺桿真空泵串連產(chǎn)生的二級發(fā)電機組或二臺羅茨真空泵與螺桿真空泵串連產(chǎn)生的三級發(fā)電機組。為防止顆粒物殘渣進到泵內,在真空發(fā)電機組進口均配備進口過濾裝置,其精密度為50μm。