主要特點:羅茨螺桿真空機組，是以羅茨真空泵為主泵，螺桿真空泵為前級泵的抽氣系統(tǒng)，此機組過流部分沒有液體作工作液，限壓力不受水溫影響，對被抽工藝氣體不產生二次污染，便于排出氣體的回收。
由于螺桿真空機組具有大抽氣量、高真空度、環(huán)保節(jié)能的優(yōu)點，是目前國際上光為應用的真空設備。
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